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Dielectric Properties of Porous Reaction-Bonded Silicon Nitride with Different Additives

电介质氮化硅材料科学多孔性多孔硅烧结氮化物介电损耗陶瓷硅体积分数复合材料高-κ电介质矿物学冶金化学光电子学图层（电子）

作者

XU Jia-dong,Fa Luo,Wancheng Zhou

出处

期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Nature]
日期：2019-07-29 被引量：1

标识

DOI：10.1007/s11664-019-07462-6

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