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Dielectric Properties of Porous Reaction-Bonded Silicon Nitride with Different Additives

电介质 氮化硅 材料科学 多孔性 多孔硅 烧结 氮化物 介电损耗 陶瓷 硅 体积分数 复合材料 高-κ电介质 矿物学 冶金 化学 光电子学 图层（电子）
作者
XU Jia-dong,Fa Luo,Wancheng Zhou
出处
期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Nature]
日期：2019-07-29 被引量：1
标识
DOI：10.1007/s11664-019-07462-6
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