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标题
Application of a Femtosecond Laser in the Fabrication fused Silica Sensing Elements for MEMS Accelerometers
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网址
https://doi.org/10.17587/nmst.24.3-8
DOI
10.17587/nmst.24.3-8 doi
其它 期刊：Nano- i mikrosistemnaâ tehnika
作者：O.S. Guseva; D. V. Kozlov; A. S. Korpukhin; I. P. Smirnov; P.A. Andreev
出版日期：2022-02-18
求助人
磊枝 在 2023-03-06 12:12:19 发布自山东，悬赏 20 积分
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  • 1年前，求助关闭

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  • 1年前

    磊枝 磊枝 求助人 Lv1 发起了本次求助

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