标题 |
Dielectric Enhancement of Atomic Layer-Deposited Al2O3/ZrO2/Al2O3 MIM Capacitors by Microwave Annealing
相关领域
微波食品加热
高-κ电介质
退火(玻璃)
薄膜
化学工程
分析化学(期刊)
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X射线光电子能谱
复合材料
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氧化物
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DOI | |
其它 |
期刊:Nanoscale Research Letters 作者:Bao Zhu; Xiaohan Wu; Wen-Jun Liu; Shi-Jin Ding; David Wei Zhang; Zhongyong Fan 出版日期:2019 |
求助人 |
田斌伟 在
2022-05-31 16:29:36 发布,悬赏 10 积分
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