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标题
Dielectric Enhancement of Atomic Layer-Deposited Al2O3/ZrO2/Al2O3 MIM Capacitors by Microwave Annealing
相关领域
微波食品加热 高-κ电介质 退火(玻璃) 薄膜 化学工程 分析化学(期刊) 耗散因子 介电损耗 X射线光电子能谱 复合材料 图层(电子) 氧化物
网址
DOI
10.1186/s11671-019-2874-5 doi
其它 期刊:Nanoscale Research Letters
作者:Bao Zhu; Xiaohan Wu; Wen-Jun Liu; Shi-Jin Ding; David Wei Zhang; Zhongyong Fan
出版日期:2019
求助人
田斌伟 在 2022-05-31 16:29:36 发布,悬赏 10 积分
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