Performance improvement of commercial ISFET sensors using reactive ion etching

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标题	Performance improvement of commercial ISFET sensors using reactive ion etching 相关领域 ISFET 材料科学光电子学蚀刻（微加工）分析化学（期刊）离子薄脆饼溅射化学反应离子刻蚀晶体管
网址	https://doi.org/10.1016/j.mee.2018.02.004
DOI	10.1016/j.mee.2018.02.004 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：Christoforos Panteli; Pantelis Georgiou; Kristel Fobelets 出版日期：2018
求助人	景语兰在 2022-06-12 15:50:13 发布，悬赏 10 积分
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