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 Fabrication of 4H–SiC microvias using a femtosecond laser assisted by a protective layer 保护膜辅助飞秒激光制备4H-SiC微孔
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期刊：Optical Materials 作者：Bin Liu; Panpan Fan; Hongwei Song; Kai Liao; Wenjun Wang 出版日期：2022-01-01 |
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