Zone plate-based extreme ultraviolet mask microscope with through-pellicle imaging capability

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标题	Zone plate-based extreme ultraviolet mask microscope with through-pellicle imaging capability 具有透膜成像能力的波带板极紫外掩膜显微镜相关领域极端紫外线光学显微镜材料科学显微镜紫外线物理激光器
网址	https://doi.org/10.1117/1.jmm.23.4.041404
DOI	10.1117/1.jmm.23.4.041404 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology 作者：Markus P. Benk; Dmytro Zaytsev; C. Orman; Brandon Vollmer; Daniel Rodrigues dos Santos; et al 出版日期：2024-08-20
求助人	sliver 在 2025-01-22 10:06:15 发布自北京，悬赏 20 积分
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