Overview of ALD applications for advanced CMOS technology

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标题	Overview of ALD applications for advanced CMOS technology 先进CMOS技术的ALD应用概述相关领域微电子原子层沉积 CMOS芯片纳米技术材料科学电介质工程物理电气工程图层（电子）光电子学工程类
网址	https://doi.org/10.1109/cstic.2018.8369251
DOI	10.1109/cstic.2018.8369251 doi
其它	期刊：作者：Xiaolin Shi; C. Li; Hong Ji; Huifang Qin; W. Zhang; et al 出版日期：2018-03-01
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