| 标题 |
 Role of reactive gas on the structure and properties of titanium nitride films grown by plasma enhanced atomic layer deposition 反应气体对等离子体增强原子层沉积生长的钛氮薄膜结构和性能的影响
相关领域
原子层沉积
锡
材料科学
氮化钛
钛
等离子体
氮化物
图层（电子）
沉积（地质）
化学计量学
薄膜
氮气
氧气
碳纤维
化学工程
分析化学（期刊）
化学
纳米技术
复合材料
环境化学
冶金
物理化学
有机化学
沉积物
物理
量子力学
生物
复合数
古生物学
工程类
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Igor Krylov; Xianbin Xu; Ekaterina Zoubenko; Kamira Weinfeld; Santiago Boyeras; et al 出版日期：2018-11-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
爱静静
spark810
HEIKU
寻道图强
从容芮
陈雷
薰硝壤
不懈奋进
梦之凌云
中和皇极
江城一霸
坚强的广山
lemonlmm
AireenBeryl531
嗯呐
Singularity
麦子哥
嗯哼
llbeyond
muxiangrong
皖公网安备34019202002308
