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 Etch the borosilicate glass to form a straight Through-Glass-Via -based on the FLACE technology 基于FLACE技术蚀刻硼硅酸盐玻璃以形成直通玻璃通孔
相关领域
硼硅酸盐玻璃
材料科学
氢氟酸
激光器
飞秒
蚀刻（微加工）
各向同性腐蚀
光电子学
中间层
基质（水族馆）
辐照
光学
复合材料
冶金
海洋学
物理
图层（电子）
地质学
核物理学
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| 其它 |
期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：qianfeng xu; Dan Fang; Xiaodong Zhang; Xiaohua Wang; Yu Chen; et al 出版日期：2022-03-30 |
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