Photochemically combined mechanical polishing of N-type gallium nitride wafer in high efficiency

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标题	Photochemically combined mechanical polishing of N-type gallium nitride wafer in high efficiency N型氮化镓晶片的光化学组合高效机械抛光相关领域抛光薄脆饼化学机械平面化材料科学氮化镓光电子学惰性氮化物表面粗糙度纳米技术冶金复合材料化学图层（电子）有机化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2018.08.002
DOI	10.1016/j.precisioneng.2018.08.002 doi
其它	期刊：Precision Engineering 作者：Liwei Ou; Yahui Wang; Hui-Qing Hu; Liangliang Zhang; Zhigang Dong; et al 出版日期：2018-08-10
求助人	优雅羽毛在 2024-12-04 09:40:10 发布自吉林，悬赏 20 积分
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