Study on the Influence of the Pulling Rate on the Axial and Radial Uniformity of Gallium in Czochralski Monocrystalline Silicon Crystal

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标题	Study on the Influence of the Pulling Rate on the Axial and Radial Uniformity of Gallium in Czochralski Monocrystalline Silicon Crystal 提拉速率对直拉单晶硅晶体中镓轴向和径向均匀性影响的研究相关领域镓单晶硅材料科学硅锭兴奋剂 Crystal（编程语言）光电子学复合材料冶金合金计算机科学程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1007/s12633-023-02495-3
DOI	10.1007/s12633-023-02495-3 doi
其它	期刊：Silicon 作者：Yubo Zu; Shaoyuan Li; Guoqiang Lv; Xiaohan Wan; Yongsheng Ren; et al 出版日期：2023-05-08
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