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标题
Current collapse suppression in AlGaN/GaN HEMTs using dual-layer SiNx stressor passivation
双层SiNx应力源钝化抑制AlGaN/GaN HEMTs电流崩塌
相关领域
钝化 材料科学 光电子学 氮化镓 电场 当前拥挤 异质结 宽禁带半导体 晶体管 高电子迁移率晶体管 场效应晶体管 电流密度 电压 电气工程 图层(电子) 纳米技术 物理 工程类 量子力学
网址
DOI
10.1063/5.0135074 doi
其它 期刊:Applied Physics Letters
作者:Chenkai Deng; Wei-Chih Cheng; XiGuang Chen; Kangyao Wen; Minghao He; et al
出版日期:2023-06-05
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