标题 |
Ultra-dry air plasma treatment for enhancing the dielectric properties of Al2O3-GPTMS-PMMA hybrid dielectric gate layers in a-IGZO TFT applications
超干空气等离子体处理提高a-IGZO TFT中Al2O3-GPTMS-PMMA混合介质栅层介电性能
相关领域
材料科学
薄膜晶体管
电介质
等离子体
光电子学
栅极电介质
无定形固体
复合材料
晶体管
图层(电子)
电压
电气工程
工程类
物理
有机化学
化学
量子力学
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Nanotechnology 作者:J. Meza-Arroyo; M.G. Syamala Rao; K. Chandra Sekhar Reddy; A. Sánchez-Martínez; Ovidio Rodríguez-Lopez; et al 出版日期:2021-01-06 |
求助人 | |
下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|