Design strategy of extreme ultraviolet resists

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标题	Design strategy of extreme ultraviolet resists 极紫外抗蚀剂的设计策略相关领域抵抗极端紫外线紫外线纳米技术材料科学光学物理光电子学激光器图层（电子）
网址	https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad3a4c
DOI	10.35848/1347-4065/ad3a4c doi
其它	期刊：Japanese journal of applied physics 作者：Takahiro Kozawa 出版日期：2024-04-03
求助人	lxl 在 2024-07-16 08:44:06 发布自广东，悬赏 10 积分
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