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 A novel quasi-static MEMS piezoelectric micromirror array with a high fill factor and three degrees of freedom 一种新型高填充因子三自由度准静态MEMS压电微镜阵列
相关领域
微电子机械系统
压电
材料科学
自由度（物理和化学）
光学
光电子学
物理
复合材料
量子力学
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| 其它 |
期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Yongquan Su; Yichen Liu; Yang Wang; Qianying Sun; Qifeng Qiao; et al 出版日期：2024-10-01 |
| 求助人 | |
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