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 EPE fundamentals and impact of EUV: Will traditional design-rule calculations work in the era of EUV? (Conference Presentation) EPE基础和EUV的影响：传统的设计规则计算在EUV时代行得通吗？（会议介绍）
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期刊： 作者：Allen H. Gabor; Andrew Brendler; Timothy A. Brunner; Xuemei Chen; James Culp; et al 出版日期：2018-03-30 |
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