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Hybrid deposition of AlTiN/WN multilayer films with low compressive stress at low temperature
低温低压应力混合沉积AlTiN/WN多层膜
相关领域
材料科学
抗压强度
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期刊:Surface & coatings technology/Surface and coatings technology 作者:Liangliang Lin; Song Zhang; Zhengtao Wu; Yisong Lin; Aijuan Zheng; et al 出版日期:2024-04-01 |
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