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标题
Hybrid deposition of AlTiN/WN multilayer films with low compressive stress at low temperature
低温低压应力混合沉积AlTiN/WN多层膜
相关领域
材料科学 抗压强度 沉积(地质) 复合材料 压力(语言学) 地质学 古生物学 语言学 哲学 沉积物
网址
DOI
10.1016/j.surfcoat.2024.130863 doi
其它 期刊:Surface & coatings technology/Surface and coatings technology
作者:Liangliang Lin; Song Zhang; Zhengtao Wu; Yisong Lin; Aijuan Zheng; et al
出版日期:2024-04-01
求助人
枯木 在 2024-07-11 15:47:24 发布自重庆,悬赏 10 积分
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