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标题
Effects of electron beam lithography process parameters on structure of silicon optical waveguide based on SOI
电子束光刻工艺参数对SOI基硅光波导结构的影响
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网址
https://doi.org/10.1007/s11771-022-5152-0
DOI
10.1007/s11771-022-5152-0 doi
其它 期刊：Journal of Central South University
作者：Yu Zheng; Piaopiao Gao; Xin Tang; Jian-zhe Liu; Ji’an Duan
出版日期：2022-10-01
求助人
重要半兰 在 2024-12-04 20:56:51 发布自天津，悬赏 10 积分
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