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The Kinetic Investigation of the Deposition of Alumina and Aluminosilicates from Mixtures of SiCl4, AlCl3, CO2, and H2
SiCl4、AlCl3、CO2和H2混合物沉积氧化铝和铝硅酸盐的动力学研究
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期刊:MRS Proceedings 作者:Stephanos F. Nitodas; Stratis V. Sotirchos 出版日期:2011-04-06 |
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