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![]() 大气压辉光放电等离子体聚合四乙氧基硅烷和六甲基二硅氧烷薄膜的合成
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期刊:Journal of Physics D Applied Physics 作者:Yoshihide Sawada; Shuichi Ogawa; Masuhiro Kogoma 出版日期:1995-08-14 |
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