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 KNN lead-free piezoelectric films grown by sputtering 溅射法制备KNN无铅压电薄膜
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材料科学
薄脆饼
微电子机械系统
锆钛酸铅
溅射
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Kenji Shibata; Kazutoshi Watanabe; Toshiaki Kuroda; Takenori Osada 出版日期：2022-08-29 |
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