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 Reliability challenges in CMOS technology: A manufacturing process perspective CMOS技术的可靠性挑战：制造工艺的观点
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期刊：Microelectronic Engineering 作者：Qiao Teng; Yongkang Hu; Ran Cheng; Yongyu Wu; Guodong Zhou; et al 出版日期：2023-09-01 |
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