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[高分] Corrosion of Co in BEOL interconnects in dilute HF solution
稀薄HF溶液中BEOL互连线中Co的腐蚀
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期刊:Solid State Phenomena 作者:Yuya Akanishi; Els Kesters; Quoc Toan Le; Frank Holsteyns 出版日期:2018-08-01 |
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