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标题
Numerical simulation of copper electrodeposition for Through Silicon Via (TSV) with SPS-PEG-Cl additive system
SPS-PEG-Cl添加剂体系硅通孔铜电沉积的数值模拟
相关领域
通过硅通孔 材料科学 铜 硅 共形映射 图层（电子） 沉积（地质） 离子 复合材料 光电子学 冶金 化学 几何学 古生物学 数学 沉积物 生物 有机化学
网址
https://doi.org/10.1016/j.mejo.2024.106089
DOI
10.1016/j.mejo.2024.106089 doi
其它 期刊：Microelectronics Journal
作者：Yanan Tao; Chao Liang; Ziqi Mei; Zhiqiang Song; Yu Wu; et al
出版日期：2024-01-02
求助人
鲸落 在 2025-02-05 17:25:59 发布自上海，悬赏 10 积分
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