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 X-ray reflectivity studies on DLC films deposited by microwave ECR CVD: Effect of substrate bias 微波ECR CVD沉积DLC薄膜的X射线反射率研究：衬底偏压的影响
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：S.B. Singh; A.K. Poswal; M. Pandey; R.B. Tokas; N. Chand; et al 出版日期：2008-09-28 |
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