Development on main chain scission resists for high-NA EUV lithography

已关闭

文献求助详情

标题	Development on main chain scission resists for high-NA EUV lithography 高钠极紫外光刻用主链断裂抗蚀剂的研制相关领域抵抗极紫外光刻平版印刷术材料科学浸没式光刻光刻纳米技术电子束光刻光电子学计算机科学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2657506
DOI	10.1117/12.2657506 doi
其它	期刊：作者：Akihide Shirotori; Manabu Hoshino; Makoto Fujimura; SinFu Yeh; Hyo Seon Suh; et al 出版日期：2023-05-01
求助人	平常从蓉在 2024-11-03 20:56:28 发布自广东，悬赏 20 积分
下载
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

求助 / 应助时间线

13天前，求助关闭

科研通管家机器人关闭了本次求助。

说明求助超时（查看超时原因）自动关闭，请核实信息是否正确，如果确实需要，您可重新发布求助。【积分已退回】
18天前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

20:56:30 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

20:56:28 科研通AI机器人（上海）收到请求，开始寻找文献

20:56:28 已向机器人发送请求
18天前

平常从蓉求助人 Lv720 发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 汉堡包上传了应助文件

2秒前; Singularity的应助被大白采纳，获得10

4秒前; 完美绮琴完成签到，获得积分10

6秒前; 安详初蓝发布了新的文献求助10

6秒前; 不配.的应助被AMG先生采纳，获得10

7秒前; cdgbdfbsfdvsd发布了新的文献求助10

7秒前; 上官若男的应助被失眠的蓝采纳，获得10

7秒前; 乾乾完成签到，获得积分10

10秒前; 子车茗的应助被Mottri采纳，获得10

10秒前; 冬猫完成签到，获得积分10

10秒前; Severus完成签到，获得积分10

11秒前; 慧敏完成签到，获得积分10

11秒前; ding上传了应助文件

12秒前; 情怀的应助被cdgbdfbsfdvsd采纳，获得10

13秒前; 满意非笑完成签到，获得积分20

13秒前; 淡淡的丹彤完成签到，获得积分10

13秒前; 领导范儿上传了应助文件

13秒前; 彳亍1117上传了应助文件

16秒前; Hello的应助被种花家的狗狗采纳，获得10

16秒前; 小刘鸭发布了新的文献求助10

17秒前; 完美绮琴发布了新的文献求助10

18秒前; 纯真的幼丝发布了新的文献求助10

18秒前; 迷路的城完成签到，获得积分10

18秒前; Jasper上传了应助文件

19秒前; 充电宝上传了应助文件

20秒前; 充电宝上传了应助文件

21秒前; 桐桐的应助被11采纳，获得10

21秒前; 深情安青的应助被牛阳光采纳，获得10

21秒前; xiaoshanban完成签到，获得积分10

21秒前; 甜美小蕾发布了新的文献求助10

24秒前; FashionBoy的应助被nil采纳，获得10

24秒前; 高歌猛进完成签到，获得积分10

25秒前; ming发布了新的文献求助10

25秒前; Orange的应助被科研通管家采纳，获得10

25秒前; Orange的应助被科研通管家采纳，获得10

25秒前; 天天快乐的应助被科研通管家采纳，获得10

25秒前; 华仔的应助被科研通管家采纳，获得10

25秒前; 丘比特的应助被科研通管家采纳，获得10

25秒前; 酷波er的应助被纯真的幼丝采纳，获得10

26秒前; 韩武浊发布了新的文献求助10

26秒前