发布文献求助
求助中
  • 文献求助详情
标题
Development on main chain scission resists for high-NA EUV lithography
高钠极紫外光刻用主链断裂抗蚀剂的研制
相关领域
抵抗 极紫外光刻 平版印刷术 材料科学 浸没式光刻 光刻 纳米技术 电子束光刻 光电子学 计算机科学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/12.2657506
DOI
10.1117/12.2657506 doi
其它 期刊：
作者：Akihide Shirotori; Manabu Hoshino; Makoto Fujimura; SinFu Yeh; Hyo Seon Suh; et al
出版日期：2023-05-01
求助人
平常从蓉 在 2024-11-03 20:56:28 发布自广东，悬赏 20 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. EUV resists towards 11nm half-pitch
  2. Mask-induced best-focus-shifts in DUV and EUV lithography
  3. Comparative study of DRAM cell patterning between ArF immersion and EUV lithography
  4. EUV and immersion lithography integration in 7nm FPGA production
  5. Study and comparison of resist characteristics for different negative tone electron beam resists
  6. Study on the resist materials leaching from resist film during immersion exposure for 193nm using QC...
  7. Comparative study of the sidewall shape and proximity effect of the AR-N 7520 negative electron beam...
  8. Characterizing Surface Roughness Using the Extreme Ultraviolet
  9. Process Research of Novel Electron Beam Lithography Resist Calixarene Used in Nanofabrication
  10. Defect analysis in 157-nm photolithography process
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 1天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    20:56:30 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    20:56:28 科研通AI机器人（上海）收到请求，开始寻找文献
    20:56:28 已向机器人发送请求

  • 1天前

    平常从蓉 平常从蓉 求助人 Lv73 发起了本次求助

更新
大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Liudan完成签到，获得积分10
刚刚
上官若男的应助被成成采纳，获得10
1秒前
2秒前
DZN发布了新的文献求助10
2秒前
Rocc完成签到，获得积分10
3秒前
02Zhu发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
贝利亚发布了新的文献求助10
5秒前
卡里的乏味完成签到，获得积分10
6秒前
纵是百万大军又如何完成签到 ，获得积分10
6秒前
田様的应助被正直的彩虹采纳，获得10
7秒前
7秒前
牧楊人完成签到，获得积分10
7秒前
Soir完成签到 ，获得积分10
8秒前
如意若冰完成签到 ，获得积分10
9秒前
LwOoodk完成签到，获得积分10
9秒前
潇潇发布了新的文献求助10
10秒前
文艺冷荷发布了新的文献求助10
11秒前
pcx发布了新的文献求助10
11秒前
12秒前
disciple完成签到，获得积分10
12秒前
tree发布了新的文献求助30
13秒前
14秒前
平常的擎宇完成签到，获得积分20
15秒前
JJ发布了新的文献求助10
17秒前
18秒前
Li完成签到，获得积分20
18秒前
爆炸米花完成签到，获得积分10
19秒前
19秒前
JJ完成签到，获得积分10
19秒前
20秒前
酷波er的应助被Vicky采纳，获得10
22秒前
dff发布了新的文献求助10
23秒前
领奖完成签到，获得积分10
23秒前
adi完成签到，获得积分10
24秒前
徐昊楠完成签到 ，获得积分20
24秒前
舒克完成签到，获得积分10
25秒前
26秒前
27秒前
共享精神的应助被蔬菜土豆采纳，获得10
28秒前
高分求助中
Sustainability in ’Tides Chemistry 2000
Sustainability in ’Tides Chemistry 1500
Studien zur Ideengeschichte der Gesetzgebung 1000
The ACS Guide to Scholarly Communication 1000
TM 5-855-1(Fundamentals of protective design for conventional weapons) 1000
Handbook of the Mammals of the World – Volume 3: Primates 805
Ethnicities: Media, Health, and Coping 800
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3070968
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2724863
关于积分的说明 7487905
捐赠科研通 2372232
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1257934
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 610139
版权声明 596906
Copyright © 2020-2024 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：826996720【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通