Initiation mechanism of arcing generated in RF capacitively coupled plasma

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标题	Initiation mechanism of arcing generated in RF capacitively coupled plasma 射频电容耦合等离子体产生电弧的起始机理相关领域容性耦合等离子体机制（生物学）等离子体电弧材料科学光电子学化学感应耦合等离子体物理核物理学电极量子力学物理化学
网址	https://doi.org/10.1088/1402-4896/ad3586
DOI	10.1088/1402-4896/ad3586 doi
其它	期刊：Physica Scripta 作者：Chul‐Hee Cho; Sijun Kim; Minsu Choi; Youngseok Lee; Inho Seong; et al 出版日期：2024-03-19
求助人	Liangstar 在 2024-11-04 16:17:02 发布自广东，悬赏 10 积分
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