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Ultralow-Contact-Resistance Au-Free Ohmic Contacts With Low Annealing Temperature on AlGaN/GaN Heterostructures
AlGaN/GaN异质结构上低退火温度超低接触电阻无金欧姆接触
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期刊:IEEE Electron Device Letters 作者:Jinhan Zhang; Xuanwu Kang; Xinhua Wang; Sen Huang; Chen Chen; et al 出版日期:2018-06-01 |
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