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A Review of 3-Dimensional Wafer Level Stacked Backside Illuminated CMOS Image Sensor Process Technologies
三维晶圆级堆叠背照式CMOS图像传感器工艺技术综述
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期刊:IEEE Transactions on Electron Devices 作者:Shou-Gwo Wuu; Hsin-Li Chen; Ho-Ching Chien; P.M. Enquist; R. Michael Guidash; et al 出版日期:2022-03-10 |
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