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标题
Crystallization of a-Si films deposited by RF sputtering using blue direct diode laser
蓝光直接二极管激光射频溅射a-Si薄膜的晶化
相关领域
材料科学 激光器 光电子学 光学 蓝光激光器 非晶硅 硅 波长 溅射 退火（玻璃） 无定形固体 结晶度 激光功率缩放 激光二极管 二极管 薄膜 晶体硅 纳米技术 化学 有机化学 复合材料 物理
网址
https://doi.org/10.1117/12.2651151
DOI
10.1117/12.2651151 doi
其它 期刊：
作者：Mitsuoki Hishida; Naohiko Kobata; Kentaro Miyano; Hiroaki Suzuki; Masaki Nobuoka; et al
出版日期：2023-03-17
求助人
Gaye 在 2024-10-08 16:59:29 发布自四川，悬赏 20 积分
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