Effects of MoS2 thickness and air humidity on transport characteristics of plasma-doped MoS2 field-effect transistors

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标题	Effects of MoS2 thickness and air humidity on transport characteristics of plasma-doped MoS2 field-effect transistors MoS2厚度和空气湿度对等离子体掺杂MoS2场效应晶体管输运特性的影响相关领域材料科学兴奋剂等离子体晶体管场效应晶体管湿度光电子学悬空债券吸收（声学）化学物理纳米技术复合材料硅化学电压气象学电气工程物理量子力学工程类
网址	https://doi.org/10.1116/1.4897133
DOI	10.1116/1.4897133 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Mikai Chen; Sungjin Wi; Hongsuk Nam; Greg Priessnitz; Xiaogan Liang 出版日期：2014-10-02
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