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 Recent progress and perspectives on atomic‐layer‐deposited semiconducting oxides for transistor applications 用于晶体管的原子层沉积半导体氧化物的最新进展与展望
相关领域
原子层沉积
氧化物
材料科学
背板
氧化物薄膜晶体管
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异质结
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期刊：Journal of The Society for Information Display 作者：Min Hoe Cho; Cheol Hee Choi; Jae Kyeong Jeong 出版日期：2022-01-11 |
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