Mechanism Study on Deposition of SiOx Films Produced by Silicone Oil and Ozone Gas

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标题	Mechanism Study on Deposition of SiOx Films Produced by Silicone Oil and Ozone Gas 硅油和臭氧气沉积SiOx薄膜的机理研究相关领域沉积（地质）硅油臭氧化学工程硅酮硅材料科学氧化硅机制（生物学）反应机理纳米技术化学有机化学复合材料光电子学地质学催化作用物理古生物学工程类量子力学氮化硅沉积物
网址	https://doi.org/10.23919/am-fpd49417.2020.9224470
DOI	10.23919/am-fpd49417.2020.9224470 doi
其它	期刊：作者：Weiqi Zhou; Susumu Horita 出版日期：2020-09-01
求助人	兔兔不吐泡泡在 2024-11-12 22:07:38 发布自江苏，悬赏 10 积分
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