Atomic layer deposition (ALD) of palladium: from processes to applications

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标题	Atomic layer deposition (ALD) of palladium: from processes to applications 钯的原子层沉积（ALD）：从工艺到应用相关领域原子层沉积纳米技术微电子钯纳米团簇纳米材料纳米结构材料科学图层（电子）沉积（地质）表面改性原子层外延薄膜催化作用化学古生物学生物化学沉积物生物物理化学
网址	http://dx.doi.org/10.1080/10408436.2023.2273463 AI链接 univ-grenoble-alpes.frdoi.org
DOI	10.1080/10408436.2023.2273463 doi
求助人	还有吗在 2024-11-20 21:31:33 发布自江苏，悬赏 30 积分
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