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 TiN Etching and Its Effects on Tungsten Etching in SF6/Ar Helicon Plasma SF6/Ar螺旋等离子体中锡的刻蚀及其对钨刻蚀的影响
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Chul Jin Choi; Yeo Song Seol; Ki–Ho Baik 出版日期：1998-03-01 |
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