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 High performance solar-blind photodetectors based on plasma-enhanced atomic layer deposition of thin Ga2O3 films annealed under different atmosphere 基于等离子体增强原子层沉积不同气氛退火Ga2O3薄膜的高性能太阳盲光电探测器
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响应度
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期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Yu‐Chang Chen; Ding-Bo Chen; Guang Zeng; Xiaoxi Li; Yuchun Li; et al 出版日期：2022-11-21 |
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