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  Understanding the mechanism of electronic defect suppression enabled by nonidealities in atomic layer deposition 相关领域
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沉积物
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| 其它 | Kavrik M S, Bostwick A, Rotenberg E, et al. Understanding the mechanism of electronic defect suppression enabled by nonidealities in atomic layer deposition[J]. Journal of the American Chemical Society, 2019, 142(1): 134-145. |
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