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标题
Numerical characterization of capacitively coupled plasma driven by tailored frequency modulated radio frequency source
定制调频射频源驱动电容耦合等离子体的数值表征
相关领域
无线电频率 容性耦合等离子体 表征（材料科学） 等离子体 物理 计算物理学 原子物理学 材料科学 化学 感应耦合等离子体 计算机科学 光学 电信 量子力学
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6595/ad4587
DOI
10.1088/1361-6595/ad4587 doi
其它 期刊：Plasma Sources Science and Technology
作者：Yu Wang; Youyou Zhou; Jian Chen; Yong Cao; Zhijiang Wang; et al
出版日期：2024-04-30
求助人
Laundry 在 2024-10-28 15:58:38 发布自比利时，悬赏 10 积分
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