标题 |
Numerical characterization of capacitively coupled plasma driven by tailored frequency modulated radio frequency source
定制调频射频源驱动电容耦合等离子体的数值表征
相关领域
无线电频率
容性耦合等离子体
表征(材料科学)
等离子体
物理
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期刊:Plasma Sources Science and Technology 作者:Yu Wang; Youyou Zhou; Jian Chen; Yong Cao; Zhijiang Wang; et al 出版日期:2024-04-30 |
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