A comparison of principal component analysis, multiway principal component analysis, trilinear decomposition and parallel factor analysis for fault detection in a semiconductor etch process

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标题	A comparison of principal component analysis, multiway principal component analysis, trilinear decomposition and parallel factor analysis for fault detection in a semiconductor etch process 主成分分析、多向主成分分析、三线性分解和平行因子分析在半导体蚀刻工艺故障检测中的比较相关领域主成分分析故障检测与隔离计算机科学灵敏度（控制系统）断层（地质）数据预处理数据挖掘工程类电子工程人工智能地质学地震学执行机构
网址	https://doi.org/10.1002/(sici)1099-128x(199905/08)13:3/43.0....
DOI	10.1002/(sici)1099-128x(199905/08)13:3/4<379::aid-cem556>3.0.co;2-n doi
其它	期刊：Journal of Chemometrics 作者：Barry M. Wise; Neal B. Gallagher; Stephanie Watts Butler; Daniel D. White; Gabriel G. Barna 出版日期：1999-05-01
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