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Study of γ-ray irradiation influence on TiN/HfO2/Si MOS capacitor by C-V and DLTS
用C-V和DLTS研究γ射线辐照对TiN/HfO2/Si MOS电容器的影响
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期刊:Superlattices and Microstructures 作者:Yun Li; Yao Ma; Wei Lin; Peng Dong; Zhimei Yang; et al 出版日期:2018-05-26 |
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