Examination of nonideal film growth in batch atomic layer deposition for plasma-resistant coatings

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标题	Examination of nonideal film growth in batch atomic layer deposition for plasma-resistant coatings 耐等离子体涂层批量原子层沉积中非理想薄膜生长的研究相关领域原子层沉积等离子体图层（电子）沉积（地质）材料科学逐层化学工程纳米技术物理地质学工程类沉积物量子力学古生物学
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-abstract/42/6/062401/33...
DOI	10.1116/6.0003777 doi
求助人	听雨在 2024-12-31 14:43:49 发布自天津，悬赏 10 积分
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