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 Tailoring the nanostructure of Ti–Si–N thin films by HiPIMS in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) mode 深振荡磁控溅射(DOMS)模式下HiPIMS对Ti-Si-N薄膜纳米结构的裁剪
相关领域
材料科学
高功率脉冲磁控溅射
微观结构
无定形固体
纳米复合材料
纳米压痕
X射线光电子能谱
溅射沉积
溅射
薄膜
微晶
锡
分析化学（期刊）
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：J.C. Oliveira; Filipe Fernandes; Fábio Ferreira; A. Cavaleiro 出版日期：2015-01-02 |
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