A brief review of atomic layer deposition: from fundamentals to applications

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标题	A brief review of atomic layer deposition: from fundamentals to applications 原子层沉积：从基础到应用相关领域原子层沉积纳米技术限制材料科学沉积（地质）图层（电子）工程物理工程类机械工程沉积物生物古生物学
网址	https://doi.org/10.1016/j.mattod.2014.04.026
DOI	10.1016/j.mattod.2014.04.026 doi
其它	期刊：Materials Today 作者：Richard W. Johnson; Adam Hultqvist; Stacey F. Bent 出版日期：2014-05-10
求助人	HuiHui 在 2025-02-26 06:26:53 发布自德国，悬赏 10 积分
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