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 Effects of Sputtering Power and Annealing Temperature on the Properties of Sc-doped ZnO Thin Films 溅射功率和退火温度对Sc掺杂ZnO薄膜性能的影响
相关领域
材料科学
溅射
退火（玻璃）
薄膜
兴奋剂
电阻率和电导率
溅射沉积
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扫描电子显微镜
分析化学（期刊）
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期刊：MRS Proceedings 作者：Ming Hua Shiao; Cheng‐Chung Jaing; Yujia Huang; Chien-Ying Su; Chih-Jung Lu 出版日期：2006-01-01 |
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