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Effects of Sputtering Power and Annealing Temperature on the Properties of Sc-doped ZnO Thin Films

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作者
Ming Hua Shiao,Cheng‐Chung Jaing,Yujia Huang,Chien-Ying Su,Chih-Jung Lu
出处
期刊：MRS Proceedings [Springer Nature]
日期：2006-01-01 卷期号：928
标识
DOI：10.1557/proc-0928-gg14-02
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