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 Magnetron configurations dependent surface properties of SnO2 thin films deposited by sputtering process 溅射沉积SnO2薄膜的磁控结构相关表面性质
相关领域
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薄膜
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期刊：Vacuum 作者：Amit Kumar Gangwar; Rahul Godiwal; Jyoti Jaiswal; Vishal Baloria; Prabir Pal; et al 出版日期：2020-04-03 |
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