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 Piezoelectric Properties of Aluminum Nitride for Thin Film Bulk Acoustic Wave Resonator 薄膜体声波谐振器用氮化铝的压电性能
相关领域
材料科学
压电
谐振器
氮化物
声学
薄膜
铝
光电子学
复合材料
纳米技术
图层（电子）
物理
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期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Nam Kuangwoo; Yun-Kwon Park; Ha Byeoung-Ju; Shim Dongha; Song Insang; et al 出版日期：2005-09-30 |
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