Piezoelectric Properties of Aluminum Nitride for Thin Film Bulk Acoustic Wave Resonator

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标题	Piezoelectric Properties of Aluminum Nitride for Thin Film Bulk Acoustic Wave Resonator 薄膜体声波谐振器用氮化铝的压电性能相关领域材料科学压电谐振器氮化物声学薄膜铝光电子学复合材料纳米技术图层（电子）物理
网址	https://doi.org/10.3938/jkps.47.309
DOI	10.3938/jkps.47.309 doi
其它	期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Nam Kuangwoo; Yun-Kwon Park; Ha Byeoung-Ju; Shim Dongha; Song Insang; et al 出版日期：2005-09-30
求助人	修仙在 2024-09-21 23:06:52 发布自四川，悬赏 10 积分
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