Efficient and slurryless ultrasonic vibration assisted electrochemical mechanical polishing for 4H–SiC wafers

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标题	Efficient and slurryless ultrasonic vibration assisted electrochemical mechanical polishing for 4H–SiC wafers 高效无浆超声振动辅助电化学机械抛光4H-SiC晶片相关领域抛光材料科学化学机械平面化薄脆饼超声波传感器复合材料振动电化学机械振动机械工程光电子学声学电极工程类物理化学物理化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2021.11.301
DOI	10.1016/j.ceramint.2021.11.301 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Xiaozhe Yang; Xu Yang; Haiyang Gu; Kentaro Kawai; Kenta Arima; et al 出版日期：2022-03-01
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