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Генератор мишеней из твердого ксенона для лазерно-плазменного источника EUV излучения для нанолитографии
相关领域
极紫外光刻
计算机科学
材料科学
光电子学
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期刊: 作者:D. D. Korobko; T.V. Chernoizyumskaya; V. Yu. Sergeev; I.A. Sharov; V.G. Kapralov; et al 出版日期:2024-08-28 |
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