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Anti-Ferroelectric ZrO$_{\text{2}}$ Capacitors With Ultralow Operating Voltage ($<$1.2 V) and Improved Endurance Toward Logic Compatible eDRAM
反铁电ZrO$_{\text{2}}$电容器,具有超低工作电压($<$1.2 V)和改进的逻辑兼容eDRAM耐久性
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期刊:IEEE Transactions on Electron Devices 作者:Jiacheng Xu; Minglei Ma; Ruijie Shen; Haoji Qian; Gaobo Lin; et al 出版日期:2024-01-01 |
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